分子泵机组
应用领域及性能介绍
本机组具有真空度高、性能稳定、电子产品制造 、光学镀膜、电子束焊接等领域
分子泵机组--OD-110/OD-700分子泵机组技术性能：
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产品型号 |
OD-110 |
OD-620 |
OD-620N |
OD-620C |
OD-700 |
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进气口法兰 |
DN100LF |
DN100CF |
DN160LF |
DN160CF |
DN160LF |
DN160CF |
DN160LF |
DN160CF |
DN160LF |
DN160CF |
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抽气速率L/S（对空气） |
110 |
600 |
600 |
600 |
700 |
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压缩比 N2 H2 |
109 6×103 |
109 6×103 |
109 6×103 |
109 6×103 |
109 6×103 |
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极限压强（Pa） |
6×10-6 |
6×10-7 |
6×10-6 |
6×10-7 |
6×10-6 |
6×10-7 |
6×10-7 |
6×10-8 |
6×10-6 |
6×10-7 |
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输入电压频率（V/Hz） |
220±20/50±1 |
380±20/50±1 |
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冷却水压力（kg/cm-2） |
0.5～1 |
0.5～1 |
0.5～1 |
0.5～1 |
0.5～1 |
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前级泵型号 |
TRP12~90 |
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环境温度 |
4～40 |
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