CCQ-A型气动超高真空插板阀
CCQ-A型气动超高真空插板阀是用压缩空气为动力，通过电磁换向阀改变气路方向，推动气缸活塞，驱动阀板作上下运动，实现阀门的开启或关闭，从而达到在超高真空系统中接通或切断气流的目的。
适用的工作介质为洁净的空气和非腐蚀性气体。
主要技术性能
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适用范围（Pa） |
105~1.3×10-7 |
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阀门漏率（Pa.L/S） |
DN≤200为≤1.3×10-7 DN≥250为≤6.7×10-7 |
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阀门烘烤温度（℃） |
≤150（除传动装置外） |
|
开阀时阀板两侧压力差（Pa） |
≤2.7×10-3 |
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气源压力（Mpa） |
0.4~0.6 |
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电源电压 |
标准出厂：AC220V/50Hz 特殊指定：AC110V;DC24V;DC12V等 |
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信号反馈 |
标准出厂：不带反馈信号 特殊指定：磁性开关DC/AC5~240V |
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型号 |
通径 （DN） |
ΦD |
ΦD0 |
ΦD1 |
ΦD2 |
ΦD3 |
H |
A |
n—d |
L |
L1 |
B |
连接标准 |
|
CCQ-50A |
50 |
89 |
72.4 |
61.6 |
55.6 |
/ |
60 |
91 |
8-M8 |
515 |
153 |
62 |
GB/T6071 |
|
CCQ-63A |
63 |
114 |
92.1 |
82.6 |
76.6 |
/ |
65 |
105 |
8-M8 |
590 |
180 |
62 |
|
|
CCQ-80A |
80 |
130 |
110 |
99 |
93 |
/ |
65 |
130 |
16-M8 |
608 |
220 |
75 |
|
|
CCQ-100A |
100 |
152 |
130.2 |
120.7 |
114.7 |
/ |
70 |
152 |
16-M8 |
655 |
267 |
94 |
|
|
CCQ-150A |
150 |
202 |
181 |
171.5 |
165.5 |
/ |
70 |
202 |
20-M8 |
707 |
350 |
94 |
|
|
CCQ-200A |
200 |
251 |
231.8 |
222.3 |
216.6 |
/ |
80 |
251 |
24-M8 |
806 |
426 |
112 |
|
|
CCQ-250A |
250 |
314 |
288 |
308 |
275 |
271 |
85 |
300 |
24-M10 |
1125 |
550 |
112 |
JB5278 |
|
CCQ-300A |
300 |
365 |
338 |
353 |
323 |
318 |
90 |
352 |
32-M10 |
1195 |
613 |
140 |
/ |
连接及外形尺寸
